Zhongwei отгрузила первую установку плазменной резки пластин Primo Matrix китайскому заказчику
Двухстанционная установка работает с пластинами 200 и 300 мм, ширина дорожки реза — от 5 мкм, толщина пластин — 25–700 мкм, по данным компании.
Компания Zhongwei Semiconductor Equipment (Shanghai) Co. объявила 10 ноября, что первая двухстанционная установка плазменной резки пластин Primo Matrix отгружена крупному китайскому заказчику в области корпусирования интегральных схем, сообщает ithome.com ithome.com
ithome.comithome.comОткрыть источник ↗. Компания называет серию собственной разработкой в области плазменной резки для передовой упаковки.
Primo Matrix использует технологию плазменного глубокого травления кремния из Primo TSV, проверенную в серийном производстве, и объединяет двухстанционную камеру травления с модулем транспортировки пластин. Установка работает с пластинами 200 и 300 мм на рамках, основная платформа — 300 мм. Она подходит для ширины дорожки реза от 5 мкм и толщины пластин 25–700 мкм.
Система построена на платформе Primo и может нести до 6 станций травления. Она поддерживает плазменную резку пластин с выводами с лицевой стороны, плазменную резку после лазерного прорезания канавок и травление обратной стороны пластины. Также возможно вскрытие твёрдых масок, например диэлектрических слоёв.
В ближайшие пять лет компания планирует расширить линейку продуктов так, чтобы охватить около 60% рынка высокотехнологичного полупроводникового оборудования и более 70% рынка оборудования для передовой упаковки ithome.com
ithome.comithome.comОткрыть источник ↗.
