Haohua Yuhang из Sinochem начала пробный выпуск хлороводорода чистотой 99,9999% для чипов
Китайская компания сообщила о чистоте выше 99,9999% и не более 0,2 ppm примесей на первом запуске. Газ используют для очистки и подготовки кремниевых пластин.
Haohua Yuhang, дочерняя компания государственного химического холдинга Sinochem Holdings, начала пробное производство хлороводорода сверхвысокой чистоты для выпуска полупроводников, сообщает Interesting Engineering со ссылкой на Science and Technology Daily. interestingengineering.com
Interesting Engineeringinterestingengineering.comОткрыть источник ↗ По данным издания, на первом же запуске установка показала хорошие результаты. Испытания зафиксировали чистоту выше 99,9999 процента при суммарном содержании примесей не более 0,2 части на миллион. Проект связан со стремлением Китая локализовать производство микросхем.
Одна случайная примесь или молекула может испортить партию микросхем, поэтому производители применяют специальные газы, очищенные почти до предела. Обычный промышленный хлороводород содержит следовые количества влаги, азота, кислорода, углекислого газа и различных хлорсиланов. Для электронного класса требуется иной уровень точности.
Роль в производстве пластин
Фабрики используют хлороводород сверхвысокой чистоты для очистки и подготовки кремниевых пластин. Технологи применяют его для полировки пластин, травления микроскопических рисунков и обработки поверхности перед наращиванием новых полупроводниковых слоёв.
При реакции с кремнием или следовыми металлами газ превращает примеси в газообразные продукты, которые откачивают из реакционной камеры без физического остатка. Так удаляются дефекты поверхности и естественные оксиды, а нижележащий кристалл кремния остаётся неповреждённым. interestingengineering.com
Interesting Engineeringinterestingengineering.comОткрыть источник ↗
Методы очистки
Чтобы снизить суммарное содержание примесей до уровня ниже 0,2 части на миллион, производители используют колонны фракционной перегонки из коррозионностойких сплавов, а также криогенные и адсорбционные системы очистки. Проектная команда Sinochem перепроектировала методы перегонки и очистки и внесла несколько технических изменений, прежде чем утвердить производственный процесс.
В Китае в этой нише уже работают отечественные поставщики, среди них производитель специальных газов GrandiT Technology из провинции Чжэцзян. Установка Haohua Yuhang пока остаётся на стадии пробного производства.
В смежной области контроля качества Корейский научно-исследовательский институт стандартов и науки (KRISS) разработал процедуры проверки чистоты для 15 высокочистых полупроводниковых газов, а также шесть сертифицированных образцов сравнения.
