# Университет Тиба расщепил CVD-алмаз 8×8 мм по плоскости {100} лазерными импульсами 10 пс

- Опубликовано: 2026-11-14 01:19 UTC
- Раздел: Машины и производство › Производство
- Теги: лазерная резка алмаза, CVD-алмазная подложка, HPHT-алмаз, сверхкороткие лазерные импульсы, расщепление по плоскости {100}, Университет Тиба, монокристаллический алмаз, внутренняя лазерная модификация, Diamond and Related Materials
- Адрес: https://realtech.media/ru/news/rt-ff2a6ee9e3c2254cbb9ab31e_universitet_tiba_rasshchepil/

**В лабораторном эксперименте исследователи Университета Тиба расщепили CVD-алмаз 8×8 мм импульсами 10 пс. Площадь среза примерно в 710 раз больше, чем в их прежней работе.**

![Chiba University splits 8×8 mm CVD diamond along the {100} plane with 10 ps laser pulses](https://realtech.media/media/2026/11/216ce45061feced9.jpg)
*bioengineer.org*

Исследовательская группа под руководством профессора Хирофуми Хидай из Высшей инженерной школы Университета Тиба (Япония) расщепила монокристаллический CVD-алмаз размером 8 мм × 8 мм по плоскости {100} с помощью сверхкоротких лазерных импульсов, сообщает eurekalert.org. Работа, в которой участвовал Махиро Икено, появилась онлайн 21 сентября 2026 года и вышла в 169-м томе журнала Diamond and Related Materials 1 ноября 2026 года [1].

Алмаз хорошо проводит тепло, имеет широкую запрещённую зону и прозрачен в видимом свете, поэтому интересен для отвода тепла, мощной электроники и оптики. Но из-за твёрдости его трудно превращать в тонкие подложки. Лазерная резка изучается как альтернатива механической обработке: сфокусированный лазер создаёт внутри кристалла микроскопические изменения, а возникающие внутренние напряжения направляют рост трещины. Как алмазы, выращенные разными способами, реагируют на такую обработку, было изучено не до конца [1].

## Как разные алмазы реагируют на сверхкороткие импульсы

Авторы сравнили три монокристаллических алмаза: один получен методом высокого давления и высокой температуры (HPHT), два других — химическим осаждением из газовой фазы (CVD); в них различалось содержание азота. Образцы облучали импульсами длительностью от 233 фс до 30 пс. Размер, форму и непрерывность модифицированных областей оценивали по данным оптической микроскопии, спектроскопии и анализа изображений [1].

Образцы вели себя по-разному. Оба CVD-алмаза удавалось модифицировать гораздо более короткими импульсами, чем HPHT-алмаз. В CVD-алмазах самые короткие импульсы оставляли мелкие разрозненные метки, а импульсы около 10 пс и длиннее давали более сплошные модифицированные области. Одно лишь содержание азота различий не объясняло; авторы предполагают, что важную роль могут играть микроскопические дефекты, связанные с историей роста каждого кристалла. Кроме того, в CVD-алмазах модифицированные области в среднем были менее стабильными и сильнее различались по морфологии, чем в HPHT-алмазах [1].

## Расщепление по плоскости {100}

Затем исследователи воздействовали импульсами 10 пс на CVD-алмаз 8 мм × 8 мм, создав модифицированные области в виде контролируемой сетки. Вместо того чтобы сразу формировать полную сеть трещин, они поэтапно добавляли новые области посередине между уже имеющимися. После четырёх таких шагов алмаз раскололся по плоскости {100} от лёгкого касания пинцетом. Эту плоскость проще всего полировать [1].

Площадь среза примерно в 710 раз больше, чем у HPHT-алмаза со стороной 300 мкм, полученного в предыдущей работе группы [1].

Профессор Хидай назвал возможными областями применения алмазные подложки и компоненты для мощных лазерных оптических окон в литографических системах, теплоотводы для современных электронных приборов и силовые полупроводники на основе алмаза. По мнению авторов, этапы процесса потенциально масштабируемы, а метод можно адаптировать для промышленного производства алмазных подложек [1].

## Источники

1. [eurekalert.org](https://www.eurekalert.org/news-releases/1149995)
2. [bioengineer.org](https://bioengineer.org/ultrashort-laser-pulses-enable-clean-slicing-of-large-single-crystal-diamond-substrates)

---

Источник: RealTech, realtech.media — https://realtech.media/ru/news/rt-ff2a6ee9e3c2254cbb9ab31e_universitet_tiba_rasshchepil/