# KAIST построил 3D-картину токовых каналов в RRAM и связал их рост с выступами электрода

- Опубликовано: 2026-11-13 00:48 UTC
- Раздел: Машины и производство › Электроника
- Теги: проводящий филамент, 3D-наблюдение филаментов, проводящая атомно-силовая микроскопия, слой диоксида титана, платиновый электрод, кислородные вакансии, структура поверхности электрода, KAIST Хон Сынбом, Nano Letters
- Адрес: https://realtech.media/ru/news/rt-39b8dec6a6ba1697163871d9_kaist_postroil_3d/

**Исследователи KAIST получили 3D-изображение токовых каналов в резистивной памяти RRAM и показали: микровыступы на электроде задают, где формируется канал.**

![KAIST imaged 3D conductive filaments in RRAM and linked their growth to electrode surface bumps](https://realtech.media/media/2026/11/cb374c517c414b87.jpg)
*Jan Helebrant, Wikimedia Commons, CC BY-SA 2.0*

Исследовательская группа KAIST получила трёхмерное изображение наноразмерных токовых каналов внутри резистивной памяти (RRAM) и выяснила, как поверхность электрода влияет на их формирование, сообщает biz.heraldcorp.com. Работу выполнили профессора Хон Сынбом и Пак Санхи с кафедры материаловедения, в KAIST о ней объявили 12-го числа [1]. Результаты опубликованы онлайн в журнале Nano Letters 11 августа.

RRAM хранит информацию, создавая или разрывая путь для тока. Состояния с током и без тока соответствуют цифровым значениям 0 и 1. Известная проблема в том, что положение и форма канала каждый раз разные, поэтому рабочее напряжение и характеристики памяти нестабильны.

## Токовые каналы в форме воронки

Чтобы разобраться, исследователи изучили в трёх измерениях проводящий филамент — сверхтонкий токовый канал, возникающий внутри памяти. Они применили проводящую атомно-силовую микроскопию (C-AFM). После формирования филамента в слое диоксида титана толщиной 10 нм они снимали материал шагами примерно по 0,1 нм, всего 100 раз, и анализировали внутреннюю структуру на каждом шаге [1].

Филамент оказался воронкообразным: широким вверху и сужающимся к нижнему электроду. Его конец, как правило, соединялся с небольшим выступом на поверхности нижнего платинового электрода. Это наблюдалось во всех пяти филаментах, сформированных в разных местах.

## Электрическое поле и кислородные вакансии

Группа пришла к выводу, что электрическое поле концентрируется на малых выступах поверхности электрода и влияет на направление роста филамента. Компьютерное моделирование также показало концентрацию поля вокруг выступов электрода. По описанию исследователей, тонкая структура поверхности электрода служит ориентиром для формирования канала [1].

Они также проанализировали распределение кислородных вакансий внутри филамента — дефектов, играющих важную роль в его образовании. Анализ показал, что по мере приближения к нижнему электроду вакансии сильнее концентрируются в центре канала. Авторы предполагают, что сужение верхней части также может быть результатом совместного действия образования и перемещения кислородных вакансий.

По словам группы, работа не ограничивается наблюдением 3D-формы филамента: она связывает его форму и положение конца с реальной наноструктурой электрода. Профессор Хон заявил, что учёт структуры поверхности электрода как параметра проектирования станет важной основой для создания более стабильной RRAM следующего поколения [1].

## Источники

1. [biz.heraldcorp.com](https://biz.heraldcorp.com/article/10934440)

---

Источник: RealTech, realtech.media — https://realtech.media/ru/news/rt-39b8dec6a6ba1697163871d9_kaist_postroil_3d/